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1-5MHz高频驱动,半导体清洗新选择

贴合式喷头兆声波——
0.2亚微米级去除率,均匀覆盖无死角

根据客户应用,提供非标定制服务

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产品资料

贴合式喷头兆声波

贴合式喷头兆声波

1 个型号

贴合式喷头兆声波清洗技术通过将声波发生装置近距离对准工件表面,利用兆赫兹频率的高能声波在清洗液中产生高频剪切冲击力。该技术结合清洗剂的化学作用,能有效去除纳米级颗粒及高深径比微孔内的污染物,同时确保不损伤精密表面。其声能传递集中、损失小,清洗效率高,适用于半导体、光学、医疗等领域的超精密清洗场景,为实现高效、精细的超声静音制造提供可靠解决方案。

产品型号 频率 最大功率 功率调整 供电电压 详情
HKD-MegPie-1M250W 1MHz 250W 5-250W 220VAC±10%

聚焦高精尖领域,解决精密清洗难题

贴合式喷头兆声波,为高良率需求客户提供兆声波级洁净保障

哈科迪

适配不同行业需求

为半导体硅片、光伏等领域提供更具高效、实用、灵活的超洁净精密制造解决方案

哈科迪

纳米级洁净无死角

贴合式喷头专属设计,针对精密零件的复杂曲面、缝隙结构,采用“贴体式”纳米级杂质剥离,解决传统清洗难以触及的死角难题

哈科迪

精密清洗零损伤

精准控能,通过无损表面技术,避免传统清洗的划伤、腐蚀问题,满足对表面无损伤的严苛清洗需求

哈科迪

适配不同行业需求

为半导体硅片、光伏等领域提供更具高效、实用、灵活的超洁净精密制造解决方案

哈科迪

纳米级洁净无死角

贴合式喷头专属设计,针对精密零件的复杂曲面、缝隙结构,采用“贴体式”纳米级杂质剥离,解决传统清洗难以触及的死角难题

哈科迪

精密清洗零损伤

精准控能,通过无损表面技术,避免传统清洗的划伤、腐蚀问题,满足对表面无损伤的严苛清洗需求

0.2 亚微米级去除率,精密制造超洁净保障

让精密制造更简单,让洁净标准再升级

哈科迪哈科迪

创新喷头设计

无死角贴合设计,攻克复杂结构清洗难题,解决行业痛点

哈科迪哈科迪

多场景灵活应对

精准匹配不同尺寸晶圆及半导体器件,无需为单一场景单独定制设备,提升设备利用率

哈科迪哈科迪

恒功率稳定输出

精准控力,适配多样工艺,避免功率波动导致的清洗不均

哈科迪哈科迪

频率实时跟踪(PLL)

能量最大化输出,清洗更高效稳定,极大降低维护成本

哈科迪哈科迪

波形调制与扫频驱动

自定义轨迹,复杂工况全覆盖,进一步保障清洗一致性和安全性

品牌竞争力

打破技术壁垒,成功开发出具有国际竞争力的兆声波清洗设备和工艺体系。

国内首家专研企业

哈科迪作为中国首家专注于半导体湿法设备兆声波模块自主研发的高科技企业,现已成功研发出兆声波纳米级清洗系列产品,助力中国半导体产业链实现关键技术自主可控。

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多场景定制化服务

作为兆声波纳米级清洗领域的创新者,哈科迪凭借全自主知识产权体系及灵活定制能力,针对半导体、光学、医疗等行业推出不同产品服务,精准匹配不同场景的清洗痛点,助力产业升级。

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强大自主研发团队

由哈尔滨工业大学教授隆志力教授领衔、自有30+人组成核心技术团队,并拥有深圳先进制造国家级重点实验室——ASM-哈工大半导体封装实验室,产学研深度融合,现已获得该领域4件发明专利,质量管理体系认证证书GB/T19001-2016/ISO9001:2015。

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售后快速及时响应

哈科迪立足深圳,依托强大的制造能力,从下单到交货缩短整个周期,性比价高,服务响应快,24小时能到达用户现场,快速为客户解决问题,让您省心更放心。

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