槽式兆声波——纳米级洁净，零损伤守护

单片兆声波清洗机利用兆声波在液体中产生的高频剪切冲击力，结合清洗剂的化学作用，实现对半导体硅片等物体的高效清洁而不损伤表面。通过发生器驱动换能器产生兆赫兹级别的高能声波，推动清洗剂分子加速运动，形成高速流体剪切力，有效清除表面及高深径比微孔内的纳米级微颗粒。 作为新一代高端清洗系统，单片槽式兆声波清洗适用于半导体、精密光学、高端医疗等领域，尤其在晶圆化学抛光（CMP）工艺中不可或缺。设备支持多种控制方式，包括本地控制及远程通信接口，并具备765W功率线性调节功能，可精准匹配不同清洗工艺需求。